設(shè)備名稱：去膠清洗臺

適用于：2-6寸晶圓清洗

產(chǎn)品規(guī)格

控制模式：半自動控制（工件搬運為手動操作，工藝參數(shù)控制過程為自動）

整機尺寸：約2000mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H)

操作臺面高度：850±20mm

工件：2-6英寸晶圓

產(chǎn)能：25片/槽，50片/槽可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計 

電源：380V 三相五線制，50HZ,5KW

純水：CL-PVC 進口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:1m³/h

抽風(fēng)口：φ200*1 抽風(fēng)量MAX:1000m³/h ,風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動調(diào)節(jié)

CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:1m³/h

N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:1m³/h

設(shè)備特點：

1.骨架采用國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)Q235A 骨架外包3mm 厚PP-W 板保護；外殼采用10mm 厚德國勞士領(lǐng)PP-W 板焊接而成；

2. 采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制；

3. 槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置；

4. 藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染；

5.清洗區(qū)域配有高效過濾器，無二次污染機會；

6.設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進行保護，防腐防水；

7.設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板；

8.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點；

9.設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴格的設(shè)計，確保人身和廠務(wù)安全；