設(shè)備名稱：有機(jī)清洗臺

適用于：2-6寸硅片清洗

產(chǎn)品規(guī)格

控制模式：半自動控制（工件搬運(yùn)為手動操作，工藝參數(shù)控制過程為自動）

總體規(guī)格： 1800mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) 

工件：2-6寸硅片

產(chǎn)能：25片/籃可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計(jì) 

電源：380V，50HZ,3KW

純水：CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m³/h 

抽風(fēng)口：φ200*2抽風(fēng)量MAX:1500m³/h ,風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動調(diào)節(jié)

CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:0.5m³/h

N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:2m³/h

設(shè)備特點(diǎn)：

1. 設(shè)備骨架為SUS304，外殼采用2mm優(yōu)質(zhì)SUS304板制做；

2. 采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制； 

3. 槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置；

4. 藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染；

5.清洗區(qū)域配有高效過濾器，無二次污染機(jī)會；

6.設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水；

7.設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板；

8.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)；

9.設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì)，確保人身和廠務(wù)安全