技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

1.可觀的電池效率提升，根據(jù)不同的工藝基礎(chǔ)，可提升0.2%-0.3%。

2.集擴(kuò)散后拋光和濕法刻蝕與一體（專利技術(shù)），無需額外設(shè)備投入，無需增加工序。

3.無需使用NaOH, HNO3 H2SO4，更環(huán)保、更低的化學(xué)品耗用成本。

4.實(shí)現(xiàn)硅片浸入溶液傳輸并拋光（專利技術(shù)），無需“水上漂”或“滾輪帶液”，無刻蝕線，工藝穩(wěn)定，容易控制。

5.解決了反應(yīng)氣泡不易散發(fā)的難題，拋光效果更好，碎片率更低。

6.專用拋光液，背面拋光效果更好，容易控制，產(chǎn)量大，成本低，廢水低污染，易處理，節(jié)約廢水處理成本。

7.背拋光技術(shù)與SE，背面鈍化（AL2O3），背接觸技術(shù)，兩次印刷，MWT等主流技術(shù)可疊加，兼容性好，提升背面技術(shù)革新空間。

8.技術(shù)便于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成或模塊化，方便客戶選擇整機(jī)或改造。

9.國內(nèi)***個(gè)完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、新型提效解決方案。

 項(xiàng)目 數(shù)據(jù)

 功能 去PSG+背拋光+刻蝕

 適用對(duì)象 多晶/單晶硅片 156mm*156mm±0.5mm(thickness0.2mm)

  125mm*125mm±0.5mm(thickness0.2mm)

 產(chǎn)能 傳輸軌道 5

  125mm*125mm ***大產(chǎn)能 3600cells/h

  156mm*156mm ***大產(chǎn)能 3000cells/h

  碎片率 ≦0.05%

 傳輸速度 速度范圍 1.0~2.5m/min

  操作速度 1.8m/min

  傳動(dòng)高度 960±30mm

  主要材質(zhì) PVDF, NaturePP, PEEK, PVC

  滾輪間距 50mm

  滾輪材質(zhì) PP

 工程條件 電力供應(yīng) 65KW,3相交流電380V,50Hz

  純水 2.5±0.5kgf/cm2

  壓縮空氣/氮?dú)?5±0.5kgf/cm2

 制程控制 PLC控制

 操作界面 全圖形化中文彩色人機(jī)界面