設(shè)備名稱:全自動SPM超聲清洗設(shè)備
產(chǎn)品規(guī)格
設(shè)備型號:KZIC-T-CW-04A
整機(jī)尺寸:2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H)(尺寸可據(jù)客戶需求改變)
生產(chǎn)產(chǎn)品:2~6寸晶圓片
產(chǎn)能:25片/槽可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計(jì)
操作高度:850±50mm
設(shè)備特點(diǎn):
1.設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP,外殼采用進(jìn)口象牙白PVC板熱熔焊接;
2.全自動PLC過程控制 ,采用三菱FX-3U系列PLC+臺達(dá)彩色觸摸屏
3.內(nèi)嵌式電柜和人機(jī)界面,更加節(jié)省空間
4. 槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控制裝置;
5.機(jī)械臂手采用直線滑塊導(dǎo)向,反向安裝,減少油及粉塵污染且便于維護(hù);
6.用戶操作人員上料后,全過程自動化控制,減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)。
7.設(shè)備安全性能高,設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì),確保人身和廠務(wù)安全;