設(shè)備名稱：全自動SPM超聲清洗設(shè)備

產(chǎn)品規(guī)格

設(shè)備型號：KZIC-T-CW-04A

整機(jī)尺寸：2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H)(尺寸可據(jù)客戶需求改變）

生產(chǎn)產(chǎn)品：2~6寸晶圓片

產(chǎn)能：25片/槽可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計(jì) 

操作高度：850±50mm

設(shè)備特點(diǎn)：

1.設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用進(jìn)口象牙白PVC板熱熔焊接；

2.全自動PLC過程控制 ，采用三菱FX-3U系列PLC+臺達(dá)彩色觸摸屏

3.內(nèi)嵌式電柜和人機(jī)界面，更加節(jié)省空間

4. 槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控制裝置；

5.機(jī)械臂手采用直線滑塊導(dǎo)向，反向安裝，減少油及粉塵污染且便于維護(hù)；

6.用戶操作人員上料后，全過程自動化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)。

7.設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì)，確保人身和廠務(wù)安全；