產(chǎn)品特點
·3200片(125*125、156*156)/小時超大產(chǎn)能
·采用第四代***新全直動配液、補液技術(shù).全面完善的防酸、防腐措施,保護到機器每一個角落。
·***新全自動補液技術(shù)。
·獨特的硅片干燥處理技術(shù),保證硅片干燥不留任何水痕
·成熟的硅片干燥工藝,多種先進(jìn)技術(shù)集于一身。
·彩色大屏幕人機界面操作.方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換
·高速移載機械手采用松下伺服程序控制.具有高速,防壓,自動歸正.四點穩(wěn)定抓取,帶鈞抱籃等特點。