產(chǎn)品特點

·3200片(125*125、156*156)／小時超大產(chǎn)能

·采用第四代***新全直動配液、補液技術(shù)．全面完善的防酸、防腐措施，保護到機器每一個角落。

·***新全自動補液技術(shù)。

·獨特的硅片干燥處理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕

·成熟的硅片干燥工藝，多種先進(jìn)技術(shù)集于一身。

·彩色大屏幕人機界面操作．方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換

·高速移載機械手采用松下伺服程序控制．具有高速，防壓，自動歸正．四點穩(wěn)定抓取，帶鈞抱籃等特點。