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雙良多晶硅還原爐是利用改良西門子法生產多晶硅的快速生產反應爐,多晶硅生成方式為氣相沉積法。
雙良多晶硅還原爐為國家發(fā)明專利產品,擁有5項國家
性能特點
·可靠性高;
·使用方便;
·能耗低。
浙公網安備 33010602000811號