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RLD-2500和RuD-2500系列是全自動(dòng)的硅片裝載/卸載系統(tǒng),搭配于鏈?zhǔn)交瘜W(xué)制程設(shè)備。RLD-2500將硅片準(zhǔn)確迅速取出及定位,由機(jī)器手臂快速放置于鏈?zhǔn)交瘜W(xué)制程設(shè)備上,RuD-2500將完成化學(xué)制程的硅片卸載至特定載具上。裝載/卸載載具可由客戶指定搭配使用,使系統(tǒng)更友善及更有彈性。
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