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管式鍍膜自動(dòng)裝卸載設(shè)備，可有效實(shí)現(xiàn)石墨舟在線(xiàn)裝卸載硅片，設(shè)備具備uptlme高、維護(hù)成本低．空間占用小等優(yōu)點(diǎn)，可有效提升工廠(chǎng)產(chǎn)出。此設(shè)備為客戶(hù)提供了—個(gè)管式鍍膜制程在線(xiàn)裝卸載硅片方案，精良的伯努利及真空機(jī)器手實(shí)現(xiàn)精確穩(wěn)定的硅片定位及取放，可有效提高此制程的品質(zhì)。同時(shí)．可選配搭載視覺(jué)顏色檢測(cè)模組。
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