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sL-系列設(shè)備用于搭載各式扳式嘲奠系統(tǒng)，不僅是快速及穩(wěn)健的上下硅片系統(tǒng)，而且可帆單性及方便運(yùn)載各種不同大小硅片。為因應(yīng)不同制程，sL-系列設(shè)備亦可彈性的經(jīng)由軟件設(shè)定，硅片在鍍膜后是否要翻面，以接續(xù)下—道制程。完全不需要更動(dòng)倒可硬體設(shè)備。
人性化的視窗介面，提供了使用者快速和方便的設(shè)宅與操作，使用者可藉由操作釃，了解目前硅片所在的位置及設(shè)備的運(yùn)作情況。
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